涡旋泵通过相对运动压缩并排出气体|旋片泵利用转子和叶片形成变化容积|粗真空与高真空采用不同的工作范围

蒸发镀膜利用材料蒸气在基片表面凝结。溅射利用粒子轰击使靶材原子离开表面。等离子体过程需要控制气压和供气组成。真空绝热通过减少气体传热降低热损失。真空环境不能阻止所有辐射换热。真空容器需要承受外部大气压力作用。快速放气可能损伤敏感的内部设备。真空系统性能需要把泵与容器共同考虑。

压力越低表示单位体积内气体通常越少。粗真空与高真空采用不同的工作范围。平均自由程随气体压力降低而增加。流动状态决定真空管路的传输规律。黏滞流中分子之间的碰撞较为重要。分子流中分子与壁面的碰撞占主要作用。真空泵用于从容器中持续移出气体。

机械真空计通过受力变形测量压力。电容薄膜真空计利用膜片位移读出压力。热导真空计依据气体导热变化进行测量。电离真空计通过离子电流估算低压程度。不同气体可能使部分真空计读数不同。量程重叠有助于不同真空计之间交叉检查。残余气体分析用于识别系统中的主要组分。真空镀膜通过低压环境沉积表面薄层。

吸气剂泵利用材料与气体作用实现抽气。抽速描述规定压力条件下的抽气能力。极限压力需要对应空载和洁净等条件。有效抽速受到连接管路流导限制。管路过长或过细可能明显降低抽气效率。漏气会给真空系统增加持续气体负荷。放气来自材料表面或内部释放气体。水汽常是抽真空初期的重要残余成分。