粗真空与高真空采用不同的工作范围|黏滞流中分子之间的碰撞较为重要|旋片泵利用转子和叶片形成变化容积

吸气剂泵利用材料与气体作用实现抽气。抽速描述规定压力条件下的抽气能力。极限压力需要对应空载和洁净等条件。有效抽速受到连接管路流导限制。管路过长或过细可能明显降低抽气效率。漏气会给真空系统增加持续气体负荷。放气来自材料表面或内部释放气体。水汽常是抽真空初期的重要残余成分。

旋片泵利用转子和叶片形成变化容积。干式泵避免传统油封结构接触工作气路。涡旋泵通过相对运动压缩并排出气体。罗茨泵通常需要配合合适的前级泵。分子泵通过高速转动把气体推向出口。分子泵不能直接从所有大气条件启动抽空。扩散泵利用高速蒸气流输送气体分子。低温泵通过冷凝或吸附捕集气体。

烘烤可以加快部分吸附气体的排出。材料选择需要考虑挥发和放气特性。弹性密封圈适用于一定真空和温度范围。金属密封适合部分超高真空应用。法兰表面损伤可能影响连接严密性。氦质谱检漏利用氦气示踪寻找泄漏位置。虚漏可能来自内部封闭空间缓慢释放气体。压力上升试验可以辅助区分气体来源。

机械真空计通过受力变形测量压力。电容薄膜真空计利用膜片位移读出压力。热导真空计依据气体导热变化进行测量。电离真空计通过离子电流估算低压程度。不同气体可能使部分真空计读数不同。量程重叠有助于不同真空计之间交叉检查。残余气体分析用于识别系统中的主要组分。真空镀膜通过低压环境沉积表面薄层。