粗真空与高真空采用不同的工作范围，干式泵避免传统油封结构接触工作气路

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烘烤可以加快部分吸附气体的排出。材料选择需要考虑挥发和放气特性。弹性密封圈适用于一定真空和温度范围。金属密封适合部分超高真空应用。法兰表面损伤可能影响连接严密性。氦质谱检漏利用氦气示踪寻找泄漏位置。虚漏可能来自内部封闭空间缓慢释放气体。压力上升试验可以辅助区分气体来源。延伸来看，深夜十二点的直播也是一个可供参考的话题。

蒸发镀膜利用材料蒸气在基片表面凝结。溅射利用粒子轰击使靶材原子离开表面。等离子体过程需要控制气压和供气组成。真空绝热通过减少气体传热降低热损失。真空环境不能阻止所有辐射换热。真空容器需要承受外部大气压力作用。快速放气可能损伤敏感的内部设备。真空系统性能需要把泵与容器共同考虑。